固态射频源

【主要特点】
整机具备点频13.56MHz，宽频带3-26MHz，50-100MHz，100-150MHz-1kW稳定功率输出
既具备独立射频源功能，又具备与等离子体天线的自动匹配功能
用户界面控制方式，LCD显示屏全面且直观的操控方式
 
【典型应用】
等离子体发生器、射频溅射、刻蚀、镀膜和长波发生器
医疗设备，共振鸟笼天线等
 
【产品主要参数】
频率包含点频13.56MHz，宽频带3-26MHz，50-100MHz，100-150MHz，频率稳定度±0.005%
功率等级：<1kW，功率稳定度小于±0.1%
整机效率：≥70%
谐波抑制：≥20dBc
冷却方式：风冷+水冷
尺寸：4U
自动匹配性能：<1s